ENTEGRIS 携 EUV、3D NAND 等解决方案亮相2019年 SEMICON CHINA
摘要:Entegris还将在展会期间主办首届洁净化学品交付论坛(3月21日,N5展馆M47会议室),推动中国化学品企业提升产品等级,开拓日益蓬勃的半导体市场。
Entegris还将在展会期间主办首届洁净化学品交付论坛 (3月21日,N5展馆M47会议室),推动中国化学品企业提升产品等级,开拓日益蓬勃的半导体市场。
Entegris展出的主要解决方案:
• 96层乃至更多:解决3D NAND材料与集成的挑战• 洁净化学品交付:保持洁净化学品交付环节,确保材料纯度,从而优化晶圆良率和可靠性
• 检查潜在缺陷提高汽车电子设备可靠性:无污染元件带来更安全、更耐用的电子设备,助力下一代无人驾驶汽车
• 覆盖始终的晶圆运送处理解决方案:在整个晶圆制造生命周期中保护晶圆的完好、安全和纯度
• 静电吸附盘(eChuck)处理晶圆:定制智能解决方案,最小接触面减少污染
• SDS® 3 Safe Delivery Source®: 气体输送安全和性能的新典范
关于 Entegris
Entegris 是为微电子行业和其他高科技行业提供特殊化学品和先进材料解决方案的领导企业。Entegris 通过了 ISO 9001 认证,在美国、中国、法国、德国、以色列、日本、马来西亚、新加坡、韩国和中国台湾设有制造、客户服务和/或研究机构。有关更多信息,请访问www.entegris.com。
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