佳能发布 FPD 曝光设备“MPAsp-E903T”, 应用于高精细中小型显示面板制造且解析度达 1.2μm
摘要:显示面板技术随着OLED的普及逐渐向高精细化方向发展,同时在智能手机上的应用变得越来越薄型化、轻量化,而在折叠式应用上趋向不断大型化。另一方面,在VR相关的显示产品上小型化的趋势也在不断发展,呈现多样化的需求。新产品可以应对新一代显示面板制造中不可或缺的高精细化需求,致力于实现多种面板的生产制造。
显示面板技术随着OLED的普及逐渐向高精细化方向发展,同时在智能手机上的应用变得越来越薄型化、轻量化,而在折叠式应用上趋向不断大型化。另一方面,在VR相关的显示产品上小型化的趋势也在不断发展,呈现多样化的需求。新产品可以应对新一代显示面板制造中不可或缺的高精细化需求,致力于实现多种面板的生产制造。
■ 实现FPD曝光设备中的1.2μm高解析度
在佳能的FPD曝光设备中,新产品首次※5搭载使用了DUV(深紫外线)※6波长的新光源。该产品充分利用了镜面光学系统特有的优点,即使波长变化对色差影响很小,通过使用比以往的紫外线波长更短的新光源以及新开发的投影光学系统,实现了1.2μm解析度的曝光。如果应用相移掩模等超解析技术※7可进一步实现1.0μm解析度的曝光,助力显示技术的高精细化发展。
■ 多样化的曝光模式,用户可灵活构建工艺产线
在搭载新投影光学系统和新光源系统的基础上,新产品增加了曝光模式数量,可匹配合适的曝光条件,实现多种电路图的高效曝光。此外,新产品还可以与掩模版尺寸和设备界面都共通的上一代机型“MPAsp-E813H”(2014年9月发布)组合使用,便于用户灵活地构建工艺产线。
■ 兼顾生产性,提升套刻精度
通过设备内部布局和温度调节系统的改进,实现了±0.25μm的高套刻精度(重合性精度)。因此,该产品可以有效满足用户高精细面板生产的需求。
※1 为方便读者理解,本文中佳能可指代:佳能(中国)有限公司,佳能股份有限公司,佳能品牌等
※2 1,500×1,850mm尺寸的玻璃基板,应用于以智能手机为代表的中小型显示面板的制造中。
※3 1μm为百万分之一米(=1mm 的千分之一)。
※4 Line and Space的简称。Line(线程)和Space(间距)等距离间隔排列电路图。
※5 针对FPD曝光设备。截至2020年11月9日。(佳能调查)
※6 Deep ultra-violet的简称。与以往的FPD曝光设备使用的紫外线相比更短波长的紫外线。
※7 控制光的位相或强度,使曝光设备解析度提升的技术。
<主要特点>
1. 实现FPD曝光设备中的1.2μm高解析度
在FPD曝光设备中,新产品首次搭载使用DUV(深紫外线)波长的新光源。充分利用了即使波长变化也对色差影响很小的镜面光学系统所特有的优点,实现了比以往所使用的g线(436nm※),h线(405nm)和i线(365nm)更短的290~380nm。由于使用了新光源以及新开发的投影光学系统,新产品实现了1.2μm解析度曝光,可以推进显示面板的进一步高精细化。
应用相移掩模等超解析技术可实现1.0μm解析度的曝光。
新DUV光源和新光学系统示意图
(外观从右侧观看主机时)
新旧光源波长分布比较
※1nm(纳米)等于10亿分之1米。
2. 多样化的曝光模式,用户可灵活构建工艺产线
在搭载新投影光学系统和新光源系统的基础上,新产品增加了曝光模式数量,可匹配合适的曝光条件,实现多种电路图的高效曝光。采用和上一代机型“MPAsp-E813H”共通的掩模版尺寸和设备交互界面,可实现新旧机型的组合使用,削减运营成本,便于用户灵活构建工艺产线。
电路图形和曝光模式的种类
※1 Line and Space的略称。Line(线程)和Space(间距)等距离间隔排列电路图。
※2 Contact Hole的略称。为形成配线贯穿复数层的圆形电路。
※3 σ(sigma)表示,光源系统NA(开口数)和投影系统NA(开口数)的比率。
3. 兼顾生产性,提升套刻精度
通过设备内部布局和温度调节系统的改进,实现±0.25μm的高套刻精度(重合性精度)。因此,新产品可以有效地满足用户高精细面板生产的需求。
<新产品介绍视频>
新产品的技术介绍视频在佳能官网上现已发布。视频配有针对产品特点的清晰易懂的解说。
URL:http://www.canon.com.cn/video/Video_play/225.html
<中小型显示面板制造设备的市场动向>
显示面板技术随着OLED的普及逐渐向高精细化方向发展,同时在智能手机上的应用变得越来越薄型化、轻量化,而在折叠式应用上趋向不断大型化。另一方面,在VR相关的显示产品上小型化的趋势也在不断发展,呈现多样化的需求。因此,FPD曝光设备致力于超高精细和可折叠式等高附加值显示面板的量产。
<主要产品规格>
详细的产品规格请参考公司网站。
URL:https://global.canon/en/product/indtech/fpd/
- 安森美汽车&能源基础设施白皮书下载活动时间:2024年04月01日 - 2024年10月31日[立即参与]
- 2023年安森美(onsemi)在线答题活动时间:2023年09月01日 - 2023年09月30日[查看回顾]
- 2023年安森美(onsemi)在线答题活动时间:2023年08月01日 - 2023年08月31日[查看回顾]
- 【在线答题活动】PI 智能家居热门产品,带您领略科技智慧家庭时间:2023年06月15日 - 2023年07月15日[查看回顾]
- 2023年安森美(onsemi)在线答题活动时间:2023年06月01日 - 2023年06月30日[查看回顾]
- 汽车电子电源行业可靠性要求,你了解多少?
- 内置可编程模拟功能的新型 Renesas Synergy™ 低功耗 S1JA 微控制器
- Vishay 推出高集成度且符合 IrDA® 标准的红外收发器模块
- ROHM 发布全新车载升降压电源芯片组
- 艾迈斯半导体推出行业超薄的接近/颜色传感器模块,助力实现无边框智能手机设计
- 艾迈斯半导体与 Qualcomm Technologies 集中工程优势开发适用于手机 3D 应用的主动式立体视觉解决方案
- 维谛技术(Vertiv)同时亮相南北两大高端峰会,精彩亮点不容错过
- 缤特力推出全新商务系列耳机 助力解决开放式办公的噪音难题
- CISSOID 和泰科天润(GPT)达成战略合作协议,携手推动碳化硅功率器件的广泛应用
- 瑞萨电子推出 R-Car E3 SoC,为汽车大显示屏仪表盘带来高端3D 图形处理性能
众所周知,LED的驱动IC担负着在输入电压不稳定的情况下,为LED提供恒定的电流,并控制恒定(可调)亮度的作用。无论是室内照明,还是车载应用,都肩负着极为重要的使命。
- 关于反激电源效率的一个疑问
时间:2022-07-12 浏览量:10166
- 面对热拔插阐述的瞬间大电流怎么解决
时间:2022-07-11 浏览量:8923
- PFC电路对N线进行电压采样的目的是什么
时间:2022-07-08 浏览量:9564
- RCD中的C对反激稳定性有何影响
时间:2022-07-07 浏览量:7184
- 36W单反激 传导7~10M 热机5分钟后超标 不知道哪里出了问题
时间:2022-07-07 浏览量:5959
- PFC电感计算
时间:2022-07-06 浏览量:4169
- 多相同步BUCK
时间:2010-10-03 浏览量:37862
- 大家来讨论 系列之二:开机浪涌电流究竟多大?
时间:2016-01-12 浏览量:43157
- 目前世界超NB的65W适配器
时间:2016-09-28 浏览量:60020
- 精讲双管正激电源
时间:2016-11-25 浏览量:128091
- 利用ANSYS Maxwell深入探究软磁体之----电感变压器
时间:2016-09-20 浏览量:107552
- 【文原创】认真的写了一篇基于SG3525的推挽,附有详细..
时间:2015-08-27 浏览量:100278