美国安森美半导体公司订购美国维易科精密仪器有限公司的金属有机化学气相沉积系统,将推进其系统设计进程

时间:2018-05-25 16:53来源:大国重器

摘要:美国维易科(Veeco)精密仪器有限公司宣布,美国安森美半导体(ONSemiconductor)公司已下令推进其高容量制造(HVM)氮化镓(GaN)金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统的制造进程。

美国维易科(Veeco)精密仪器有限公司宣布,美国安森美半导体(ON Semiconductor)公司已下令推进其高容量制造(HVM)氮化镓(GaN)金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统的制造进程。
 
推进GaN MOCVD系统的设计制造旨在用于数据中心的高压电源管理设备,汽车、信息和通信技术,国防、航空航天和配电系统以及其他应用。
 
安森美半导体公司研发与开放式创新高级总监Marnix Tack表示:“我们之前使用Veeco的K465i GaN MOCVD系统学习,促使我们调查了Propel HVM平台的产品线。测试结果表明,器件性能出色,具有高均匀性,晶圆内和晶圆到晶圆的可重复性,同时满足我们对6英寸和8英寸晶圆的成本目标。因此,Propel HVM系统被证明是我们电力电子制造需求的最合适的平台。
 
Propel HVM平台基于Veeco创新的单晶圆系统,采用专有的IsoFlange和SymmHeat技术,可在整个晶圆上提供均匀的层流和均匀的温度分布。该系统能够生产功率电子器件,激光二极管,射频器件和先进的LED,同时确保较低的成本,以及具有更高的性能和生产良率。

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